光刻技术在整体式层板催化剂床研究中的应用

• 作者: 宁建华 雷娟萍
• 来源期刊: 火箭推进
• 关键词: 光刻 整体式催化剂床 过氧化氢催化分解
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 工艺与材料
• 页码范围: 43-47
• 页数: 5页
• 分类号: V463
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-9374.2006.06.009

摘要

采用自主设计研制的高精度双面自对准光刻模具和标准MEMS光刻工艺技术研制出整体式层板催化剂床板片,简要介绍了光刻工艺原理、工艺流程和工艺过程.光刻加工出的板片满足设计要求,板片经过电镀和真空扩散焊接工艺形成了整体式催化剂床,该床成功地通过了热点火试车.催化剂床床载为16.5g/(cm2·s),分解效率为97%,室压粗糙度小于2%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	雷娟萍		4	6	2.0	2.0
2	宁建华		5	6	2.0	2.0