超纯镓的研制和产业化

• 作者: 范家骅
• 来源期刊: 材料研究与应用
• 关键词: 镓 超纯 产业化
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 页码范围: 92-99
• 页数: 8页
• 分类号: TF123.7|TF843.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-9981.2006.02.005

摘要

实现超纯镓生产的产业化,存在着产品质量的可靠性和稳定性两大问题.提出了对超纯镓纯度的定义,指出用GDMS分析方法,结合SI-GaAs或MBE GaAs膜的迁移率作依据,来确定超纯镓的纯度.在加强质保体系的同时,研究了先进的生产工艺,建成了年产15 t超纯镓的生产线,产品质量达到了法国GEO Gallium公司的水平.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	范家骅		2	9	1.0	2.0