真空管道自体溅射镀TiN膜研究

• 作者: 尉伟 张耀锋 王勇 王建平 耿会平 范乐 赵飞云
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: TiN膜 直流溅射 管道镀膜 阴极靶 辉光放电
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 232-235
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1
• 字数: 3383字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2006.03.017

摘要

本文详细介绍了长真空管道内表面直流溅射镀TiN膜技术和成膜系统配置.采用真空管道自体真空镀膜方法解决细长管道内表面镀膜问题,特殊的阴极靶结构设计成功地解决了长管道内表面直流溅射镀膜的问题.本实验方法在真空管道内壁获得了均匀的、高品质的TiN膜层,并实现了细长真空管道大面积镀膜过程的稳定性、重复性和一致性.真空管道自体直流溅射镀膜实验中采用的工作原理以及设备简单,操作方便,成本低廉.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王勇		1	3	1.0	1.0
2	尉伟		2	4	1.0	2.0
3	张耀锋		1	3	1.0	1.0
4	王建平		1	3	1.0	1.0
5	范乐		2	4	1.0	2.0
6	耿会平		1	3	1.0	1.0
7	赵飞云		1	3	1.0	1.0