聚合物基底微电机定子的研制

• 作者: 刘波 吴一辉 张平 杨杰伟
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 平面线圈 微模塑 微沟槽 模版 固化
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 34-38
• 页数: 5页
• 分类号: TM38
• 字数: 3036字
• 语种: 中文

摘要

介绍了一种微模塑工艺,可用于制作以聚合物为基底的微电机定子,从而提高了电机的可靠性,降低了制造成本.双面密集微沟槽(100μm×70 μm)阵列是定子基底的一大特点,其初始图形用MEMS技术刻制在硅片上,再利用PDMS良好的柔性、弹性和复型分辨率特性制作过渡模版,通过图形转移技术成功地解决了刚性脱模难的问题.通过在室温下固化12 h和在80℃中后固化0.5 h,可模塑出完好的薄片状环氧树脂基底,制得了厚度为0.6 mm、线圈组外径为φ20 mm的聚合物基定子.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张平	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	180	2022	23.0	35.0
2	刘波	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	266	2712	24.0	39.0
6	吴一辉	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	126	1121	18.0	27.0
7	杨杰伟	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	2	8	1.0	2.0