薄膜热扩散系数的在线测试研究

• 作者: 许高斌
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅薄膜 热扩散系数 表面加工技术 在线提取
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 88-92,97
• 页数: 6页
• 分类号: TK124|TN304.07
• 字数: 3084字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2006.02.003

摘要

提出了一种在线提取多晶硅薄膜热扩散系数的简单测量方法,测试结构可随表面器件工艺加工制作,无需附加工艺.通过分析两个长度不同、宽度与厚度相同梁的瞬态冷却特性,获取其冷却时的温度衰减时间常数,便可以提取出表面加工多晶硅薄膜的热扩散系数.给出了瞬态冷却热电分析模型,综合考虑了梁冷却过程中各种散热因素即对流、辐射以及向衬底传热的影响.实验测得的该表面加工多晶硅薄膜热扩散系数是0.165 cm2s-1(方块电阻R□是116.25 Ω).理论分析和实验表明,该方法也能够实现其他工艺制作的导体薄膜热扩散系数的在线提取.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许高斌	合肥工业大学理学院	22	140	7.0	11.0