空间用碳化硅反射镜的设计制造与测试

• 作者: 姚旺 张剑寒 张宇民 赫晓东 韩杰才
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 空间用反射镜 反应烧结 化学气相沉积 碳化硅 光学加工 光学检验
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 179-184
• 页数: 6页
• 分类号: TH703
• 字数: 3058字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2006.02.007

摘要

碳化硅由于其优异的机械性能和热物理性能而成为颇具吸引力的反射镜材料.采用反应烧结碳化硅(RB-SiC)材料制备了空间用反射镜体,用化学气相沉积(CVD)工艺在镜体镜面沉积一层致密的碳化硅薄膜,反射镜采用蜂窝状背面开放式轻量化结构.对直径为250 mm反射镜的组织、性能做了一系列研究测试.结果表明:反射镜体为Si/SiC两相组织,薄膜为单相SiC,反射镜的机械、热性能优异,薄膜与基体结合强度为345.5 MPa,研磨后镜面表面粗糙度达到1.487 nm rms.采用本文工艺方法有能力制备米级直径的空间用碳化硅反射镜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赫晓东	哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所	187	2763	28.0	42.0
2	韩杰才	哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所	298	4663	35.0	52.0
3	张宇民	哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所	60	685	14.0	24.0
4	姚旺	哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所	13	203	8.0	13.0
5	张剑寒	哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所	6	174	5.0	6.0