复合抛光对CVD金刚石薄膜表面光洁度的改进研究

• 作者: 史伟民 夏义本 王林军 苏青峰
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: CVD金刚石薄膜 复合抛光 表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 499-502
• 页数: 4页
• 分类号: O485|TN305
• 字数: 2670字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2006.02.039

摘要

采用激光抛光和热化学抛光相结合的方法,对通过热丝CVD方法生长的金刚石薄膜进行了复合抛光处理.并利用X射线衍射仪(XRD)、拉曼光谱仪(Raman)、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对金刚石薄膜进行了表征.结果表明,所合成的金刚石薄膜是高质量的多晶(111)取向膜;经复合抛光后,金刚石薄膜的结构没有因抛光而发生改变,金刚石薄膜的表面粗糙度明显降低,光洁度大幅度提高,表面粗糙度Ra在100nm左右,基本可以达到应用的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏义本	上海大学材料科学与工程学院电子信息材料系	111	725	13.0	19.0
2	王林军	上海大学材料科学与工程学院电子信息材料系	109	441	11.0	14.0
3	史伟民	上海大学材料科学与工程学院电子信息材料系	56	313	10.0	14.0
4	苏青峰	上海大学材料科学与工程学院电子信息材料系	22	99	5.0	8.0