基于MEMS的条栅状微过滤器的设计与制作

• 作者: 何林 吴一辉 宣明 张平
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微型全分析系统(μTAS) 血细胞分离 微过滤器 MEMS 微分离技术
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 微细加工技术
• 页码范围: 48-51
• 页数: 4页
• 分类号: TP65
• 字数: 2473字
• 语种: 中文

摘要

为了满足微型全分析系统对样品分离的集成度要求,提出了一种新型的微分离技术.利用MEMS技术设计制作了一种条栅状的硅微结构的过滤器,线宽14 μm,周期40 μm.介绍了其制作工艺,并用碳化硒微粒做了过滤实验以验证其过滤效率.结果表明,这种硅微过滤器能有效去除悬液中直径在14 μm以上的微粒,且生物兼容性好,结构简单,易于实现片内集成.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张平	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	180	2022	23.0	35.0
2	宣明	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	42	470	13.0	20.0
3	吴一辉	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	126	1121	18.0	27.0
4	何林	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	5	6	1.0	2.0