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摘要:
提出了一种基于微悬臂梁结构的布拉格光栅氢气传感器,阐述了该类型传感器的工作原理及制作工艺流程,并利用MEMS技术制作了传感器样品,同时在-60 ℃~90 ℃、氢气浓度为0.5%~10%范围内对该传感器样品进行了测试.结果表明,在环境温度为25 ℃、氢气浓度为4%的情况下,当测试时间为30 min时,反射波长改变量可达0.15 nm;在10 s的快速反应测试中,反射波长改变量可达0.003 5 nm,能够满足实际应用要求.
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内容分析
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文献信息
篇名 微悬臂梁结构氢气传感器的制作研究
来源期刊 微细加工技术 学科 工学
关键词 MEMS 光栅 氢气传感器
年,卷(期) 2006,(1) 所属期刊栏目 微细加工技术
研究方向 页码范围 45-47,64
页数 4页 分类号 TP212.1
字数 2054字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 邱显涛 1 1 1.0 1.0
2 陈吉安 1 1 1.0 1.0
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研究主题发展历程
节点文献
MEMS
光栅
氢气传感器
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
微细加工技术
双月刊
1003-8213
43-1140/TN
大16开
湖南省长沙市
1983
chi
出版文献量(篇)
672
总下载数(次)
2
总被引数(次)
4940
论文1v1指导