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微悬臂梁结构氢气传感器的制作研究
微悬臂梁结构氢气传感器的制作研究
作者:
邱显涛
陈吉安
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
MEMS
光栅
氢气传感器
摘要:
提出了一种基于微悬臂梁结构的布拉格光栅氢气传感器,阐述了该类型传感器的工作原理及制作工艺流程,并利用MEMS技术制作了传感器样品,同时在-60 ℃~90 ℃、氢气浓度为0.5%~10%范围内对该传感器样品进行了测试.结果表明,在环境温度为25 ℃、氢气浓度为4%的情况下,当测试时间为30 min时,反射波长改变量可达0.15 nm;在10 s的快速反应测试中,反射波长改变量可达0.003 5 nm,能够满足实际应用要求.
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内容分析
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引文网络
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期刊文献
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
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文献信息
篇名
微悬臂梁结构氢气传感器的制作研究
来源期刊
微细加工技术
学科
工学
关键词
MEMS
光栅
氢气传感器
年,卷(期)
2006,(1)
所属期刊栏目
微细加工技术
研究方向
页码范围
45-47,64
页数
4页
分类号
TP212.1
字数
2054字
语种
中文
DOI
五维指标
作者信息
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姓名
单位
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被引次数
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邱显涛
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节点文献
MEMS
光栅
氢气传感器
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
微细加工技术
主办单位:
中国电子科技集团公司第48研究所
出版周期:
双月刊
ISSN:
1003-8213
CN:
43-1140/TN
开本:
大16开
出版地:
湖南省长沙市
邮发代号:
创刊时间:
1983
语种:
chi
出版文献量(篇)
672
总下载数(次)
2
总被引数(次)
4940
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