定容法测量小孔流导的方法研究

• 作者: 成永军 李得天 赵光平 郭美如
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 定容法 小孔流导测量 不确定度分析
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 真空校准
• 页码范围: 62-66
• 页数: 5页
• 分类号: TB771|TB71
• 字数: 4296字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2006.01.018

摘要

规则小孔的流导可以通过计算得到,但对于非规则小孔,若要准确得到小孔流导的大小,就必须通过实验测量得到.文章论述了定容法测量小孔流导的方法,进行了测量不确定度的评定,得到了整个校准范围内小孔流导随进气压力变化的拟合曲线和方程,小孔流导的测量不确定度为1.1%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李得天		63	622	15.0	20.0
2	郭美如		28	208	8.0	12.0
3	成永军		39	271	9.0	13.0
4	赵光平		10	47	4.0	6.0