MEMS薄膜材料参数在线测试方法与技术

• 作者: 刘祖韬 李伟华 李巧萍 黄庆安
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 薄膜 材料参数 在线测试
• 年，卷（期）: 2006,（9）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1650-1656
• 页数: 7页
• 分类号: TP206
• 字数: 3346字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.09.028

摘要

给出了一种MEMS薄膜材料参数的在线测试技术与方法.这种技术包括微测试结构图形、测试硬件设备和测试分析软件.它能够快速测试MEMS薄膜的主要性能参数,并且测试设备和测试方法都与集成电路测试方案兼容,即所有材料参数的测试与提取都通过电学激励与电学测量来实现.文中首先给出了测试技术与方法的工作原理,然后对用标准表面微机械加工工艺制作的多晶硅薄膜进行了测试,实验结果表明该测试技术与方法的测试效率高、成本低,具有一定的工业应用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄庆安	东南大学微电子机械系统教育部重点实验室	35	415	12.0	19.0
2	李伟华	东南大学微电子机械系统教育部重点实验室	13	76	5.0	8.0
3	刘祖韬	东南大学微电子机械系统教育部重点实验室	2	8	1.0	2.0
4	李巧萍	东南大学微电子机械系统教育部重点实验室	1	7	1.0	1.0