新颖的双间隔RF MEM可变电容的设计与模拟

• 作者: 廖小平 董乔华
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 电子技术 射频 MEM可变电容 变容比 品质因数
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 41-44
• 页数: 4页
• 分类号: TN40|TN405
• 字数: 2997字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2006.01.013

摘要

设计了一种可用于射频(RF)通信系统中的MEM平行板可变电容,采用新颖的双间隔(two-gap)结构、金属铝极板、折叠"Y"形支撑和厚度不均的可动极板.用CoventorWare软件模拟了电容的C-V特性,当控制电压从0 变化到10 V时,RF信号电容相应从0.37 pF增加到5.64 pF,变容比约为15.24∶1;用HFSS软件模拟了电容的S11参数,电容的品质因数Q在1.8 GHz下约为77.78.