采用弹性基底制作变间距光栅

• 作者: 付绍军 何世平 叶超 谢永军
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 变间距光栅 硅橡胶 线密度
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 光子束技术
• 页码范围: 21-24
• 页数: 4页
• 分类号: O438.1
• 字数: 2259字
• 语种: 中文

摘要

提出了一种新的制作变间距光栅的方法,即利用软刻蚀在厚度变化的硅橡胶(PDMS)上制作等栅距的光栅结构,然后对其拉伸加载,使其成为变间距光栅.对所制作好的变间距光栅采用基于衍射原理的逐点扫描法检测其线密度的分布,同时用经典理论推导了光栅表面的线密度分布,并对两种方法所得结果进行了比较发现,检测结果与理论分析结果相吻合.研究结果表明,这种制作变间距光栅的方法是可行的,与传统的制作方法相比,具有间距连续变化、变化规律不受光路控制以及制作成本低等优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	付绍军	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	69	435	12.0	15.0
2	叶超	中国科学技术大学力学和机械工程系	20	290	8.0	17.0
3	谢永军	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	20	124	6.0	10.0
4	何世平	中国科学技术大学力学和机械工程系	36	332	11.0	15.0