不同衬底温度下ZnO外延薄膜的结构及光学特性分析

• 作者: 于威 傅广生 尹志会 张子生 许贺菊 贾亮
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO薄膜 衬底温度 螺旋波等离子体 外延
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 页码范围: 1118-1122
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 3082字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2006.05.043

摘要

采用螺旋波等离子体辅助射频溅射沉积技术在Al2O3(0001)衬底上沉积ZnO外延薄膜,通过对其结构及光学性质的分析,探讨了衬底温度对薄膜生长特性的影响.实验结果表明,由于等离子体对反应气体的活化及载能粒子对表面反应的辅助作用,采用该等离子体辅助溅射技术能够在较低的衬底温度下实现较高质量的ZnO薄膜外延生长,然而,较高的衬底温度所引起的表面反应不利于薄膜中的氧空位及锌填隙等缺陷的减少,这将限制薄膜的外延质量及光学特性的进一步提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张子生	河北大学物理科学与技术学院	30	128	6.0	9.0
2	傅广生	河北大学物理科学与技术学院	184	817	13.0	17.0
3	于威	河北大学物理科学与技术学院	91	346	9.0	13.0
4	许贺菊	河北大学物理科学与技术学院	7	31	3.0	5.0
5	尹志会	河北大学物理科学与技术学院	23	41	4.0	5.0
9	贾亮	河北大学物理科学与技术学院	2	6	2.0	2.0