基于MEMS的双功能温控芯片的设计与制作

• 作者: 刘利娜 吴一辉 王淑荣 贾宏光
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 化学
• 关键词: 微全分析系统 双功能温控芯片 MEMS 温度控制
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 41-44
• 页数: 4页
• 分类号: TP271|O65
• 字数: 1994字
• 语种: 中文

摘要

为满足微全分析系统集成化的发展要求,设计制造了一种微型温控芯片.该芯片以硅为基底,采用MEMS工艺集成了加热和温度传感双重功能.介绍了芯片的制作工艺,并对加热器和温度传感器的性能进行测试和分析,结果表明,该芯片加热响应迅速,温度传感器灵敏度高、线性度好.而且这种温控芯片体积小、结构简单,易于集成.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾宏光	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	120	1499	18.0	33.0
2	王淑荣	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	105	757	15.0	23.0
3	吴一辉	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	126	1121	18.0	27.0
4	刘利娜	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	2	23	2.0	2.0