溶胶-凝胶法制备ZnO:Al(ZAO)薄膜的光电特性

• 作者: 李世平 李玲
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶 掺杂铝氧化锌薄膜 光电特性
• 年，卷（期）: 2006,（10）
• 所属期刊栏目: 技术专栏(先进工艺技术)
• 页码范围: 733-737
• 页数: 5页
• 分类号: TN3
• 字数: 3911字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2006.10.004

摘要

采用溶胶-凝胶法在石英衬底上制备了ZAO薄膜.在氮气气氛下进行退火处理,X射线衍射(XRD)谱表明ZAO薄膜具有六角纤锌矿的晶体结构.对ZAO薄膜的光电特性进行测量,结果显示薄膜的光致发光峰发生蓝移,喇曼光谱随A1掺杂浓度的变化发生相应的改变.薄膜的电导率在Al浓度为1%,700℃退火处理时达到最高值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李玲	暨南大学物理系光电和纳米材料实验室	78	424	11.0	15.0
2	李世平	暨南大学物理系光电和纳米材料实验室	4	22	2.0	4.0