混合物理化学气相沉积法制备蓝宝石衬底外延MgB2薄膜性质的研究

• 作者: 丁莉莉 冯庆荣 李芬 熊光成 陈莉萍
• 来源期刊: 低温物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: MgB2薄膜 X射线衍射图 SEM图 R～T曲线 M～H曲线
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 页码范围: 107-111
• 页数: 5页
• 分类号: O51
• 字数: 4183字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-3258.2006.02.003

摘要

我们用混合物理化学气相沉积(Hybrid physical-chemical vapor deposition简称为HPCVD)法在α-Al 2O 3(00l)衬底上原位制备了一批超导性能良好的外延MgB 2超导薄膜样品.用10%浓度的乙硼烷(B 2H 6)氢气混合气作为原料,研究了不同条件对MgB 2薄膜沉积速率的影响.在一定条件下制备了一批MgB 2薄膜,厚度为200nm左右,样品的零电阻转变温度( T c 0)最高达到39K.X射线衍射分析的θ～2 θ扫描表明, MgB 2薄膜的晶粒都具有较好的 C 轴取向,对样品的(101)面Φ扫描结果显示MgB 2薄膜晶格与衬底有很好的外延取向,取向关系为[1010] MgB 2∥[1120] Al 2O 3.由毕恩模型计算求得在5K和零场条件下,样品的临界电流密度 J c =9.8×10 6A/cm 2.这些结果表明HPCVD技术在MgB 2外延薄膜原位制备方面有着很大的优势,从而有利于实现MgB 2薄膜在电子器件方面的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊光成	北京大学物理学院人工微结构与介观物理国家重点实验室	25	63	4.0	7.0
2	冯庆荣	北京大学物理学院人工微结构与介观物理国家重点实验室	28	65	5.0	6.0
3	李芬	北京大学物理学院人工微结构与介观物理国家重点实验室	13	44	4.0	5.0
4	丁莉莉	北京大学物理学院人工微结构与介观物理国家重点实验室	2	7	2.0	2.0
5	陈莉萍	北京大学物理学院人工微结构与介观物理国家重点实验室	2	7	2.0	2.0