氮化锆薄膜色度特性与工艺参数研究

• 作者: 孙维连 李新领 牛建钢
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化锆薄膜 色度 二次正交旋转组合试验
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 36-38
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 字数: 2105字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2006.01.011

摘要

制备了ZrN薄膜,通过采用二次正交旋转组合试验设计方案,建立了薄膜颜色和氮气浓度、靶功率与镀膜时间的数学模型,给出了各参数对薄膜颜色的影响趋势.经模型寻优,求出了在不同目标色度坐标下的最优参数组合方案.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙维连	河北农业大学机电工程学院	96	375	10.0	12.0
2	牛建钢	河北农业大学机电工程学院	11	37	3.0	5.0
4	李新领	河北农业大学机电工程学院	23	98	7.0	8.0