(110)硅基光纤定位槽的研究

• 作者: 周敬然 徐宝琨 王丹 董玮 贾翠萍 陈维友
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: KOH (110)硅片 锯齿状沟槽 凸角
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 34-36
• 页数: 3页
• 分类号: TN305
• 字数: 1209字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2006.01.010

摘要

利用(110)硅片在KOH溶液中各向异性腐蚀制作出两个互相垂直的光纤定位槽.由于在该方位腐蚀出的不标准的V型槽,难以对此精确设计来固定光纤.设计了利用KOH溶液定向腐蚀制作出的平行四边形蚀坑串,所形成的锯齿状沟槽结构来固定光纤.依据硅的各向异性腐蚀特性对平行四边形蚀坑尺寸进行了分析设计.由于腐蚀过程中锐角凸角和钝角凸角产生的削角面不一致,致使锯齿状沟槽精确固定光纤产生偏差,设计采用菱形凸角补偿结构进行完善,从而达到精确固定光纤的目的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董玮		2	5	2.0	2.0
2	贾翠萍		1	3	1.0	1.0
3	徐宝琨		1	3	1.0	1.0
4	周敬然		1	3	1.0	1.0
5	王丹		1	3	1.0	1.0