TiOx层在Pt/Ti电极中对Ti扩散的抑制作用

• 作者: 何军 张柏顺 章天金
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 电子技术 铁电薄膜 Pt/Ti电极 粗糙度 Ti扩散
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 24-26
• 页数: 3页
• 分类号: TM22
• 字数: 1788字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2006.03.008

摘要

采用直流磁控溅射方法在SiO2/Si衬底上制备出Pt/Ti和Pt/TiOx底电极.用XRD分析其晶相结构,用AFM测量其晶粒尺寸和表面粗糙度.结果表明,用TiOx层代替金属Ti后,能有效地抑制在高温环境下Ti原子向Pt层扩散,使电极表面粗糙度减小(粗糙度为2.99 nm).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	章天金	湖北大学物理学与电子技术学院	82	321	11.0	14.0
2	张柏顺	湖北大学物理学与电子技术学院	24	152	7.0	11.0
3	何军	湖北大学物理学与电子技术学院	6	15	2.0	3.0