与标准集成电路工艺兼容的硅基光学器件研究

• 作者: 刘海军 刘金彬 许奇明 陈弘达 顾明 高鹏 黄北举
• 来源期刊: 高技术通讯
• 学科: 工学
• 关键词: 集成电路工艺 硅基光电子集成回路 全硅光互连
• 年，卷（期）: 2006,（9）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 985-989
• 页数: 5页
• 分类号: TN4
• 字数: 3257字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-0470.2006.09.021

摘要

着重介绍了与标准集成电路工艺兼容的硅基光学器件的最新研究进展,包括硅基光发射器、硅基光波导和调制器件、硅基光电探测器和接收机以及硅基光电子集成回路的工作原理、制作工艺和集成技术.与标准集成电路工艺兼容的硅基光电子集成回路能有效地解决电互连芯片内部串扰、带宽和能耗等问题,并能够充分利用现有成熟的集成电路工艺,实现大规模生产,具有广阔的实用前景.