透射电子显微镜对接膜样品的制作

• 作者: 张贺秋 王兆阳 王志俊 胡礼中 赵杰
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 透射电子显微镜 高分辨率透射电子显微镜 选区电子衍射
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 封装测试技术
• 页码范围: 29-30,25
• 页数: 3页
• 分类号: TB303|TN307
• 字数: 2015字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2006.01.010

摘要

在透射电子显微镜(TEM)样品制作中,对接膜样品制作最为复杂,同时得到的薄膜信息也非常多,是进行材料研究的一个非常有用的观测方法.并介绍了这种样品的制作过程和样品的测试分析情况.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵杰	大连理工大学物理系三束材料改性国家重点实验室	171	1184	17.0	27.0
2	王兆阳	大连理工大学物理系三束材料改性国家重点实验室	7	56	4.0	7.0
3	胡礼中	大连理工大学物理系三束材料改性国家重点实验室	28	160	8.0	11.0
4	王志俊	大连理工大学物理系三束材料改性国家重点实验室	7	34	4.0	5.0
5	张贺秋	大连理工大学物理系三束材料改性国家重点实验室	14	41	4.0	6.0