退火对溶胶-凝胶法制备的ZnO薄膜结构和光致发光的影响

• 作者: 张宁 李清山 杨亚军 王璟璟 石明吉 赵波 郑学刚 陈达 齐红霞
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 溶胶-凝胶法 ZnO薄膜 退火 光致发光
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 782-786
• 页数: 5页
• 分类号: O472.3|O482.31
• 字数: 2305字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-7032.2006.05.029

摘要

采用溶胶-凝胶法在n-Si (100)衬底上制备ZnO薄膜并从三个方面对其研究.X射线衍射结果表明,在含氧气氛中退火的ZnO薄膜为多晶六角纤锌矿结构,有明显的c轴择优结晶取向;退火时间的长短和温度的高低对结晶取向性和粒径均有较大影响,通过进一步的研究发现最佳处理温度在500 ℃左右.用扫描电子显微镜观察样品的表面和侧面形貌,晶体的生长比较均匀,粒径平均在70～160 nm范围内,与XRD测量结果相一致.室温下ZnO胶体的光致发光谱表明,随着胶体老化时间的延长,胶体的紫外峰位发生了蓝移.室温下ZnO薄膜的光致发光谱表明,紫外部分的发光峰位在365, 390 nm,发光强度较强;在可见光区的发光强度相对较弱,但是还没有被氧完全抑制掉.