离子源放电电流对真空室压力影响机理研究

• 作者: 徐晨 沈光地 田增霞 舒雄文
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 真空室压力 放电电流 离化
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 新型控制设备
• 页码范围: 36-38
• 页数: 3页
• 分类号: TB71.6
• 字数: 2237字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2006.04.011

摘要

揭示了真空室压力随离子源放电电流增长,而且在不同的气流速率时的增长率不同这一现象,并对其机理进行了分析,认为真空室压力随放电电流的增长主要是离化粒子束流密度的增长引起的,当然离化粒子的平均能量的增长也起了作用,而在不同气流速率时该压力增长率的不同则主要是因为在不同的气流速率时离化率不同.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	舒雄文	北京工业大学光电子技术实验室	8	67	4.0	8.0
2	徐晨	北京工业大学光电子技术实验室	63	295	9.0	13.0
3	田增霞	北京工业大学光电子技术实验室	7	44	3.0	6.0
4	沈光地	北京工业大学光电子技术实验室	192	1444	18.0	29.0