SOI基可变光学衰减器的回波损耗研究

• 作者: 刘育梁 方青 李芳 陈鹏
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 高斯光束耦合 回波损耗 SOI 减反膜 端面斜抛
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 370-372,386
• 页数: 4页
• 分类号: TN256
• 字数: 2005字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2006.04.005

摘要

采用倾斜3.4°抛光SOI波导端面和在波导端面镀TiO2减反膜的方法,使SOI基动态可调光学衰减器的插入损耗减小了1.6 dB,而且回波损耗由8 dB提高至57 dB,解决了SOI波导器件回波严重这一实用化过程中的关键问题.利用上述方法研制出了完整封装的SOI基可变光学衰减器样品.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李芳	中国科学院半导体研究所光电子研发中心	156	1240	17.0	28.0
2	刘育梁	中国科学院半导体研究所光电子研发中心	44	362	13.0	16.0
3	陈鹏	中国科学院半导体研究所光电子研发中心	73	581	12.0	22.0
4	方青	中国科学院半导体研究所光电子研发中心	8	14	3.0	3.0