甲烷浓度对大面积金刚石膜生长的影响

• 作者: 毕冬梅 王丽丽 赵利军
• 来源期刊: 长春大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 金刚石膜 甲烷浓度 膜的质量
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 数理科学
• 页码范围: 31-33
• 页数: 3页
• 分类号: O484
• 字数: 1691字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-3907-B.2006.06.009

摘要

采用电子辅助热灯丝化学气相沉积(EA.CVD)方法沉积大面积金刚石膜,在金刚石膜的沉积过程中,碳源浓度的变化会直接影响着金刚石膜的生长和质量.使用Raman,SEM等手段对金刚石膜的生长特性进行了表征.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王丽丽	长春大学理学院	49	108	6.0	8.0
2	赵利军	长春大学特殊教育学院	34	49	4.0	5.0
3	毕冬梅	长春大学理学院	39	44	4.0	4.0