横向振动微谐振器的仿真分析

• 作者: 刘永武 王小静 王敏 陈晓阳
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微谐振器 折叠梁 有限元法 仿真
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 98-101
• 页数: 4页
• 分类号: TH701
• 字数: 2007字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2006.02.007

摘要

通过ANSYS有限元仿真软件对横向振动微谐振器进行静态、模态和谐响应仿真分析.在静态和模态分析中,得到水平方向最大静位移和谐振频率等重要性能参数以及不同的折叠悬臂梁结构参数对它们的影响.在谐响应仿真分析中得到微谐振器的幅频响应特性,从而导出微谐振器的品质因子Q值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王小静	上海大学机电工程与自动化学院	50	428	12.0	19.0
2	陈晓阳	上海大学机电工程与自动化学院	138	1179	18.0	25.0
3	王敏	上海大学机电工程与自动化学院	29	100	7.0	9.0
4	刘永武	上海大学机电工程与自动化学院	3	29	3.0	3.0