GaAs基微机械加工技术

• 作者: 张文栋 张斌珍 李科杰 薛晨阳 陈建军
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 微机械加工技术 砷化镓
• 年，卷（期）: 2006,（7）
• 所属期刊栏目: 趋势与展望
• 页码范围: 481-484
• 页数: 4页
• 分类号: TH7|TN304.2
• 字数: 2772字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2006.07.001

摘要

为了进一步提高传感器的灵敏度,提出了利用GaAs半导体材料来突破硅的极限,阐明了GaAs材料的优越特性和发展GaAs基MEMS的必要性.概述了GaAs微机械加工的刻蚀技术、体微机械加工技术和表面微机械加工技术的特点,对相应的GaAs微机械加工工艺进行了举例分析,并介绍了国内首次制作的GaAs基MEMS微结构,为GaAs MEMS的进一步发展奠定了基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李科杰	北京理工大学机电工程学院	109	1207	18.0	30.0
2	张文栋	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	167	1172	16.0	26.0
3	薛晨阳	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	136	765	14.0	21.0
4	张斌珍	北京理工大学机电工程学院	107	535	12.0	18.0
6	陈建军	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	17	54	4.0	6.0