"共光路"校准激光干涉仪的测长不确定度

• 作者: 朱固瑞 李建双 赵岩 陶香琴
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 背对背 共光路 激光干涉仪 不确定度
• 年，卷（期）: 2006,（z1）
• 所属期刊栏目: 几何量计量基础理论研究和现代精密测试技术
• 页码范围: 58-61
• 页数: 4页
• 分类号: TB92
• 字数: 2701字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1158.2006.z1.015

摘要

激光干涉仪校准时为了避免引入阿贝误差,通常采用"背对背"测量方法,即标准干涉仪的反射镜与被测干涉仪的反射镜背对背放置,使标准干涉仪与被测干涉仪的光路处于同一直线上.现提出校准激光干涉仪的另一方法,利用同一组分光镜和反射镜,使标准干涉仪与被测干涉仪的光路处于同一光路上,即"共光路"测量方法.这种方法与"背对背"的测量方法相比,具有抗环境干扰的能力强的优点,使由环境条件引入的测量误差最小,其最佳相对测量不确定度优于1×10-7.通过测量数据和标准测量装置的不确定度分析,来评价"共光路"测量方法的优越性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李建双		27	99	7.0	7.0
2	赵岩		6	29	4.0	5.0
3	陶香琴		4	25	4.0	4.0
4	朱固瑞		2	13	2.0	2.0