基于小波变换的IC缺陷轮廓曲线分形维估计

• 作者: 孙晓丽 宋国乡
• 来源期刊: 现代电子技术
• 关键词: IC缺陷轮廓 小波变换 分形维 集成电路
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 电子技术
• 页码范围: 126-128
• 页数: 3页
• 分类号: TN406
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-373X.2006.01.051

摘要

硅片表面缺陷轮廓的形状特征对集成电路(IC)成品率预报及故障分析有重要影响.讨论了IC缺陷轮廓所具有的分形特征,利用小波变换对其参数曲线的分形维数进行了估计,估计结果与实际特征相符,从而为缺陷轮廓特征的描述和计算机模拟提供了一条新的途径.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋国乡	西安电子科技大学理学院	160	2031	21.0	40.0
2	孙晓丽	西安电子科技大学理学院	11	155	7.0	11.0