基于微电子机械系统微型光谱仪的研究与进展

• 作者: 娄建中 李小佳 王永清 王海舟 马雯
• 来源期刊: 冶金分析
• 学科: 化学
• 关键词: 微电子机械系统技术 微机械加工技术 微型光谱仪 研究 进展
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 综述与评论
• 页码范围: 40-46
• 页数: 7页
• 分类号: O657.31
• 字数: 4004字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7571.2006.04.011

摘要

结合已报道的微型光谱仪,介绍了微电子机械系统技术在多种微型光谱仪中的应用,详细阐述了这些微型光谱仪的原理和相应的制作工艺,并展望了随着微电子机械系统技术的发展,微型光谱仪的应用前景和发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王海舟		117	1234	21.0	28.0
2	李小佳		28	156	7.0	11.0
3	娄建中	河北大学电子信息工程学院	2	26	1.0	2.0
4	王永清		19	82	5.0	8.0
8	马雯	河北大学电子信息工程学院	1	26	1.0	1.0