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摘要:
为了实现石英玻璃薄板的激光精密切割,对石英玻璃薄板激光切割原理进行了探讨,提出了依照材料光学透过率特性来选择激光切割用激光源的方法.通过对材料光学透过率的特性分析可以得知,用来切割石英玻璃的激光源波长应在5μm~20μm范围内.对石英玻璃薄板的激光精密切割进行了实验验证,实验结果表明,激光精密切割技术能够较好地运用于石英玻璃薄板的精密切割加工中,其加工精度优于20μm、中心对称度小于3μm.这一结果和激光源选择方法对石英材料激光精密加工技术研究及其设备研制是有帮助的.
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文献信息
篇名 石英玻璃薄板激光精密切割技术
来源期刊 激光技术 学科 工学
关键词 激光技术 激光精密切割 石英玻璃薄板 光学吸收率
年,卷(期) 2006,(4) 所属期刊栏目 应用
研究方向 页码范围 406-408
页数 3页 分类号 TG485|TN249
字数 2311字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1001-3806.2006.04.029
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 彭勃 中国工程物理研究院电子工程研究所 19 115 6.0 10.0
2 袁明权 中国工程物理研究院电子工程研究所 17 63 4.0 7.0
3 凌宏芝 中国工程物理研究院电子工程研究所 3 33 2.0 3.0
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石英玻璃薄板
光学吸收率
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激光技术
双月刊
1001-3806
51-1125/TN
大16开
四川省成都市238信箱
62-74
1971
chi
出版文献量(篇)
4090
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25972
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