一维计量型微位移工作台的研究

• 作者: 孙艳玲 谢铁邦
• 来源期刊: 传感器世界
• 学科: 工学
• 关键词: 微位移工作台 白光扫描干涉轮廓仪,衍射光栅 压电陶瓷 定位控制
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 技术与应用
• 页码范围: 17-20
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 1847字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-883X.2006.03.004

摘要

本文介绍了一种以衍射光栅作为计量标准器的垂直方向上的微位移工作台,用来实现在白光扫描干涉轮廓仪的表面形貌测量中Z方向上的精密定位,该工作台实现了轮廓仪的闭环测量和控制,文章重点讲述了光栅信号处理的硬件及软件细分技术,以及压电陶瓷驱动电路的原理和工作台闭环定位控制的流程.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢铁邦	华中科技大学机械工程学院仪器系	92	848	17.0	24.0
2	孙艳玲	湖北襄樊学院机械工程系	3	7	2.0	2.0