超声波化学沉积Co-Ni-B-Ce合金薄膜工艺的研究

• 作者: 冯书争 宣天鹏 张路长
• 来源期刊: 电镀与精饰
• 学科: 工学
• 关键词: 超声波化学沉积 沉积速度 声强 自分解
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 5-8
• 页数: 4页
• 分类号: TQ153.2
• 字数: 2405字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3849.2006.06.002

摘要

研究了超声波条件下工艺参数对Co-Ni-B-Ce合金化学沉积速度的影响,讨论了温度、声强、超声波频率、镀液组成等对沉积速度的影响.研究发现:温度、超声波频率、镀液组成对沉积速度有较大的影响.超声波使Co-Ni-B-Ce化学沉积速度提高30%,在超声条件下,镀液的稳定性降低.随着声强的增加,镀液容易发生自分解,沉积速度迅速减小.通过对工艺的分析,得出了Co-Ni-B-Ce合金超声波化学沉积的最佳工艺参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宣天鹏	合肥工业大学材料科学与工程学院	84	1199	19.0	28.0
2	冯书争	合肥工业大学材料科学与工程学院	5	55	4.0	5.0
3	张路长	合肥工业大学材料科学与工程学院	3	29	3.0	3.0