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微电子与微电子机械系统(MEMS)中的现代光学测试技术
微电子机械系统
微电子
光测力学
微电子机械系统的几个力学问题
微电子机械系统
界面(相)力学
薄膜基底结构
弹塑性一粘着接触力学
微电子机械系统中微尺度热物性研究进展
微尺度
薄膜
热物性参数
微电子机械系统
微电子机械系统的力学特性与尺度效应
微电子机械系统
硅材料
尺度效应
微执行器
微机器人
微机械
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 微电子机械系统的测量
来源期刊 电子技术 学科
关键词
年,卷(期) 2006,(10) 所属期刊栏目 技术特写
研究方向 页码范围 22-26
页数 5页 分类号
字数 6077字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1000-0755.2006.10.005
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电子技术
月刊
1000-0755
31-1323/TN
大16开
上海市长宁区泉口路274号
4-141
1963
chi
出版文献量(篇)
5480
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19
总被引数(次)
22245
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