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有无CUSP磁场时提拉法生长单晶硅的传热及氧运输的数值模拟
有无CUSP磁场时提拉法生长单晶硅的传热及氧运输的数值模拟
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摘要：
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勾形磁场下提拉法生产单晶硅的数值模拟
提拉法
勾形磁场
单晶硅
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单晶硅辐照
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热电薄膜
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声子热导率
单晶硅
单晶硅微薄膜V形缺口疲劳特性研究
微机电系统
单晶硅
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文献信息
| 篇名 | 有无CUSP磁场时提拉法生长单晶硅的传热及氧运输的数值模拟 | ||
| 来源期刊 | 中国化学工程学报（英文版） | 学科 | 化学 |
| 关键词 | |||
| 年，卷（期） | 2006,（1） | 所属期刊栏目 | 传递现象与流体力学 |
| 研究方向 | 页码范围 | 8-14 | |
| 页数 | 7页 | 分类号 | O6 |
| 字数 | 语种 | 英文 | |
| DOI | |||
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中国化学工程学报(英文版)
主办单位：
中国化工学会
出版周期：
月刊
ISSN：
1004-9541
CN：
11-3270/TQ
开本：
大16开
出版地：
北京东城区青年湖南街13号
邮发代号：
80-448
创刊时间：
1982
语种：
eng
出版文献量（篇）
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