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摘要:
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某单晶硅辐照系统辐射防护评价
单晶硅辐照
活化活度
屏蔽
周围剂量当量
纳米多孔结构单晶硅热电薄膜声子热导率数值研究
热电薄膜
纳米多孔材料
声子热导率
单晶硅
单晶硅微薄膜V形缺口疲劳特性研究
微机电系统
单晶硅
薄膜
疲劳
断口分析
片外测试
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 有无CUSP磁场时提拉法生长单晶硅的传热及氧运输的数值模拟
来源期刊 中国化学工程学报(英文版) 学科 化学
关键词
年,卷(期) 2006,(1) 所属期刊栏目 传递现象与流体力学
研究方向 页码范围 8-14
页数 7页 分类号 O6
字数 语种 英文
DOI
五维指标
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相关学者/机构
期刊影响力
中国化学工程学报(英文版)
月刊
1004-9541
11-3270/TQ
大16开
北京东城区青年湖南街13号
80-448
1982
eng
出版文献量(篇)
4237
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1
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