5英寸钽酸锂晶体生长工艺技术研究

• 作者: 周志强 康平 张寒贫 张庆海 张振志 成肇安 杜小红 陈建 韦勇
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: φ5英寸钽酸锂 上称重 铱坩埚
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 页码范围: 1388-1391
• 页数: 4页
• 分类号: O78
• 字数: 2431字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2006.06.049

摘要

本文着重介绍了用铱坩埚提拉法生长φ5英寸钽酸锂(LT)晶体的工艺过程,该工艺使用超大尺寸铱坩埚生长LT晶体;设计了稳定并可调节纵向及径向温度梯度的温场;采用了大量程、高灵敏度的上称重技术;运用逆向模拟法的模拟体设计.这些技术的集成,是φ5英寸晶体生长成功的必要保证.