界面和择优取向对TiN/ZrN纳米多层膜硬度变化的影响

• 作者: 张庆瑜 徐晓明 王娟 赵阳
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 工学
• 关键词: TiN/ZrN多层膜 界面宽度 择优取向 硬度变化
• 年，卷（期）: 2006,（10）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、热学和力学性质
• 页码范围: 5380-5385
• 页数: 6页
• 分类号: TG1
• 字数: 5089字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.10.066

摘要

利用射频反应磁控溅射方法,制备了调制比约为4,调制周期不同的一系列TiN/ZrN纳米多层膜. 利用X射线衍射仪(XRD)、高分辨电子显微镜(HRTEM)和纳米压痕仪(Nanoindentation)对多层膜的调制结构、界面状态和力学性能进行了表征. 研究结果表明TiN/ZrN多层膜具有很好的调制结构,但是在TiN层和ZrN层之间存在一定厚度的界面混合层. 力学性能分析表明:当调制周期小于15 nm时, TiN/ZrN多层膜的硬度介于单一TiN和ZrN薄膜的硬度之间;当调制周期为15.24 nm时,硬度达到最大,但随着调制周期增加,多层膜的硬度基本上保持为常数. 分析了TiN/ZrN多层膜硬度变化的机制,认为界面厚度和择优取向是导致硬度变化的主要原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐晓明	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	5	48	5.0	5.0
2	王娟	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	13	81	6.0	8.0
3	赵阳	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	8	79	5.0	8.0
4	张庆瑜	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	92	897	16.0	25.0