功率高压稳流源的设计应用

• 作者: 刘兆龙 郑鹉 闵子建
• 来源期刊: 电力电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 稳流电源 溅射 镀膜/功率金属氧化物场效应晶体管
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 装置与应用
• 页码范围: 99-101
• 页数: 3页
• 分类号: TN86|TN305
• 字数: 2621字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-100X.2006.03.037

摘要

介绍一种高压电流可调大功率稳流电路的设计方法,电路选用VMOS管作为功率器件,可实现工作电压800V以上或电流达数十安培的稳流电源,使用上限由VMOS管的最大额定值决定.电路简单可靠,可直接串联在直流供电回路中使用.该电路应用于溅射镀膜机上,可较精确地控制多层合金膜镀层.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑鹉		55	134	7.0	9.0
2	闵子建		20	184	6.0	13.0
3	刘兆龙		13	80	6.0	8.0