MOCVD法制备多层Ir涂层的显微结构

• 作者: 华云峰 张立同 徐永东 成来飞 杨文彬
• 来源期刊: 固体火箭技术
• 学科: 工学
• 关键词: 铱涂层 金属有机物化学气相沉积 多层结构
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 材料工艺
• 页码范围: 56-59
• 页数: 4页
• 分类号: TG146.3+4
• 字数: 2690字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-2793.2006.01.015

摘要

以三乙酰丙酮铱为先驱体,采用金属有机物化学气相沉积法,通过变温多次沉积在石英基片和热解碳层上制备出多层Ir涂层.XRD研究表明,Ir涂层呈多晶态.试样冲击断裂后,SEM观察横截面显示,涂层与基片以及涂层之间结合良好,无层间开裂发生.内层涂层虽然有孔隙缺陷,但经多次沉积,后继制备的涂层能很好地将其封填.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	成来飞	西北工业大学超高温结构复合材料国防科技重点实验室	259	2656	22.0	40.0
2	张立同	西北工业大学超高温结构复合材料国防科技重点实验室	248	2867	24.0	42.0
3	徐永东	西北工业大学超高温结构复合材料国防科技重点实验室	131	1982	23.0	37.0
4	杨文彬	西北工业大学超高温结构复合材料国防科技重点实验室	6	63	4.0	6.0
5	华云峰	西北工业大学超高温结构复合材料国防科技重点实验室	3	29	3.0	3.0