钛氧化物的蒸发特性

• 作者: 胡小峰 薛亦渝 郭爱云
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: Ti2O3 Ti3O5 TiO2 氧化钛薄膜 蒸发镀膜 同一蒸发相
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 39-42
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 字数: 2939字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2006.01.012

摘要

试验以Ti2O3、Ti3O5和TiO2作为初始膜料,在ZZS700-6/G型真空镀膜机上采用O2-离子束辅助蒸发制备氧化钛薄膜.用XRD检测方法确定各种膜料和薄膜的相成分,并全面的分析了各种膜料的蒸发特性和薄膜;用分光光度计测量薄膜的透射率,并分析薄膜的光学性能.试验表明,在采用Ti2O3、Ti3O5和TiO2作为蒸发制备氧化钛薄膜时,在钛的氧化物中存在Ti3O5固态同一蒸发相;各种膜料在蒸发时,发生分解,熔池中的物质的成分逐渐转变并最终完全成同一蒸发相成分.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	薛亦渝	武汉理工大学材料科学与工程学院	48	532	13.0	21.0
2	郭爱云	武汉理工大学材料科学与工程学院	10	84	6.0	9.0
3	胡小峰	武汉理工大学材料科学与工程学院	3	23	2.0	3.0