在空心微珠表面磁控溅射镀金属薄膜的研究

• 作者: 俞晓正 徐政 沈志刚
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 金属薄膜 场发射扫描电子显微镜 空心微珠
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 247-250
• 页数: 4页
• 分类号: TB79|TB333
• 字数: 3085字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2006.03.021

摘要

本文论述了在空心微珠表面磁控溅射镀金属薄膜的方法.用光学显微镜、场发射扫描电子显微镜、能谱仪和X射线衍射仪对其进行了分析表征.溅射镀膜时,通过控制空心微珠的运动方式,在空心微珠表面沉积了一层均匀性好、附着力强和致密性好的金属镍膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈志刚		65	491	11.0	19.0
3	俞晓正		7	66	5.0	7.0
5	徐政		4	36	3.0	4.0