高性能螺线管微电感的制作

• 作者: 周勇 方东明 赵小林
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 螺线管电感 射频微机电系统 品质因素 三维
• 年，卷（期）: 2006,（8）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1422-1425
• 页数: 4页
• 分类号: TM55
• 字数: 2720字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.08.017

摘要

利用MEMS技术制作了高性能的空芯螺线管型射频微机械电感.这种微电感采用铜线圈以减小线圈寄生电阻,整个微电感的面积是880μm×350μm,与平面螺旋型微电感相比,有效地节省了芯片面积.测试结果表明,微电感在较宽的工作频率范围内具有高Q值,微电感最大Q值为38(@6GHz),对应的电感量为1.82nH.