MEMS发展应用现状

• 作者: 李旭辉
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 发展 应用
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 综述与评论
• 页码范围: 7-9
• 页数: 3页
• 分类号: TP29
• 字数: 3549字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2006.05.003

摘要

微机电系统(MEMS)技术有小尺寸、多样化、微电子等特点,它将信息系统的微型化、多功能化、智能化和可靠性水平提高到了新的高度.MEMS做成的惯性器件(微加速度计和微型陀螺)以及MEMS在小型卫星、海陆空作战平台及信息传递、航空航天、生物医疗和医学等方面有广泛应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李旭辉	北京航空航天大学智能系统与控制工程系	1	140	1.0	1.0