金刚石声表面波器件的研制

• 作者: 徐晟 杨保和 杨晓苹 陈希明
• 来源期刊: 天津理工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波 多层膜结构 金刚石薄膜 氧化锌压电薄膜
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 页码范围: 6-8
• 页数: 3页
• 分类号: TN201
• 字数: 2137字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-095X.2006.01.002

摘要

对ZnO/IDT/金刚石多层结构高频声表面波滤波器进行模拟设计、样件制备和测量.利用热丝化学气相沉积方法,在抛光Si基底沉积致密、光滑的CVD金刚石膜;采用磁控溅射法在金刚石薄膜上制备C轴取向的氧化锌压电薄膜.研制的ZnO/IDT/金刚石/硅结构SAW滤波器,又指换能器(IDT)指宽1.7μm,SAW滤波器频率达到1.4 GHz.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨保和	天津理工大学光电信息与电子工程系	32	177	8.0	11.0
2	陈希明	天津理工大学光电信息与电子工程系	34	136	7.0	9.0
3	杨晓苹	天津理工大学光电信息与电子工程系	22	249	10.0	15.0
4	徐晟	天津理工大学光电信息与电子工程系	3	21	3.0	3.0