多重入晶圆制造系统动态投料策略研究

• 作者: 邵志芳 郭永辉 钱省三
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 多重入 动态投料策略 生产线平衡 晶圆
• 年，卷（期）: 2006,（9）
• 所属期刊栏目: 观察与思考
• 页码范围: 645-649,665
• 页数: 6页
• 分类号: TP278
• 字数: 5586字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2006.09.002

摘要

为克服传统投料策略的缺点,满足晶圆厂追求多个生产指标的需求,提出基于生产线平衡的动态投料策略思想,并从追求负荷平稳的角度,给出了多重入晶圆生产线平衡的新定义.在全局性信息确定方面,将黄光区作为瓶颈区域,炉管区与离子注入区作为次瓶颈区域分别加以控制.从稳定系统负荷和保证系统产出两个目的着手,提出了负荷平衡投料策略(RRLB),给出了相应地公式与算法.进一步的仿真实验验证了该策略的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钱省三	上海理工大学微电子发展研究中心	182	2387	26.0	41.0
2	郭永辉	郑州航空工业管理学院工业工程系	55	420	11.0	17.0
3	邵志芳	同济大学经济管理学院	6	53	6.0	6.0