MEVVA离子源凸形引出电极的研制

• 作者: 刘安东 吴先映 张孝吉 张胜基 张荟星 李强
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 工学
• 关键词: 金属蒸气真空弧离子源 引出电极 束流分布
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 离子源和离子束技术
• 页码范围: 93-96
• 页数: 4页
• 分类号: TL503.3
• 字数: 1693字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3219.2006.02.004

摘要

介绍了金属蒸气真空弧(Metal vaporvacuumarc,MEVVA)离子源的凸形引出电极的研制.研究表明,凸形引出电极可以完成离子束的强制发散功能,从而在较短的引出距离和较小的引出电极面积的条件下得到大的束斑和均匀可应用的束流分布.通过对几种不同的电极结构的比较研究,得到了满足应用要求的凸形引出电极.