纳米梁非线性振动的动力学分析

• 作者: 于虹 宋震煜
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 纳机电系统 连续体 非线性模型 duffing方程 阻尼
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 145-149
• 页数: 5页
• 分类号: TH703|O322
• 字数: 2884字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2006.03.008

摘要

当MEMS谐振梁的尺寸进一步缩小到nm量级时,实验表明在外部激励的作用下,器件运动状态更容易从线性区进入到非线性区.考虑纳米梁的轴向非线性伸长因素,利用连续体弹性理论建立了物理模型,并利用该模型分析了纳米梁的幅频特性和纳米梁非线性产生的物理机制.分析结果与已有的实验报道结果相符.