脉冲激光沉积工艺参数对生物活性薄膜的影响

• 作者: 宋明大 赵亚凡 陈传忠
• 来源期刊: 应用激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 脉冲激光沉积 生物活性 羟基磷灰石 生物玻璃
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 页码范围: 23-25,54
• 页数: 4页
• 分类号: O43
• 字数: 3786字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-372X.2006.01.007

摘要

脉冲激光沉积是近年来出现的一项制备薄膜的新技术,在制备生物活性薄膜方面显示出独特的优越性.介绍了脉冲激光沉积技术的原理及特点,详细综述了反应气氛、衬底温度、激光波长、能量密度、靶材性能、沉积速率及薄膜厚度等工艺参数对羟基磷灰石及生物玻璃薄膜组织及性能的影响,展望了该项技术的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵亚凡		6	91	4.0	6.0
5	陈传忠	山东大学材料科学与工程学院	31	731	13.0	27.0
6	宋明大		8	75	5.0	8.0