Al/Al2O3多层膜的研究

• 作者: 周丽梅 张兴寰 薛钰芝 钟金德
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 多层膜 类负阻效应
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 24-26
• 页数: 3页
• 分类号: TG174.44
• 字数: 1747字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2006.01.007

摘要

用真空蒸镀及自然氧化方法在玻璃基底上制备纳米量级的4、5、6、7对层的Al/Al2O3多层膜.采用称重法测定薄膜的厚度;在常温和低温下使用三点法测定多层膜的电特性;用扫描电镜(SEM)观察薄膜的表面和截面的形貌及成分.结果表明:制备的是纳米量级非晶态的Al/Al2O3多层膜,在常温和低温(77 K)下均具有类似负阻的特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	薛钰芝	大连交通大学材料科学与工程学院	31	128	6.0	9.0
2	周丽梅	大连交通大学材料科学与工程学院	16	55	4.0	7.0
3	钟金德	大连交通大学材料科学与工程学院	3	3	1.0	1.0
4	张兴寰	大连交通大学材料科学与工程学院	2	1	1.0	1.0